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  • Common-path two-wavelength interferometer with sub-micron precision for profile measurements in on-line applications [2009]

    Categoría:
    Ponencias
    Autores:
    Jorge Marina Juárez , María Frade Rodríguez , José María Enguita González , Ignacio Álvarez García
    Fecha:
    01 de Enero de 2009
    Es parte de:
    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering